200mm晶圓噴涂濕法清洗機(jī)

型號(hào)：SCS-SRD09

1.CDS獨(dú)立供液系統(tǒng)
2.自動(dòng)補(bǔ)液/控溫/加熱/循環(huán)/液位感應(yīng)/排放
3.視窗開合門上配有檢測(cè)傳感器，檢測(cè)Cassette放置是否到位
4.工控機(jī)+PLC控制系統(tǒng)
5.SPM/HF循環(huán)系統(tǒng)由風(fēng)囊泵實(shí)現(xiàn)循環(huán)，SC1/SC2循環(huán)系統(tǒng)由磁力泵實(shí)現(xiàn)循環(huán)
6.化學(xué)廢液靠重力排放至廠務(wù)端廢液管道內(nèi)

廣泛應(yīng)用于濕制蝕刻、去膠、清洗等制程